國內半導體量測檢測設備領域的領先企業東方晶源邁入了發展新階段，正式開啟電子束檢測及量測設備的批量交付模式。公司成功向新客戶交付了其自主研發的兩款核心電子束設備，標志著其產品在性能、穩定性和客戶認可度上達到了新的高度，也為國產高端半導體檢測儀器設備的產業化與規模化應用注入了強勁動力。
此次交付的兩款設備分別是用于芯片制造關鍵工藝節點的電子束缺陷檢測設備（E-beam Inspection）和電子束關鍵尺寸量測設備（E-beam CD Metrology）。在集成電路制造邁向更先進工藝節點的過程中，晶圓表面的微觀缺陷和圖形結構的尺寸精度直接影響芯片的良率和性能。傳統光學檢測技術面臨物理極限的挑戰，而電子束技術憑借其極高的分辨率，能夠實現對納米乃至亞納米級缺陷和尺寸的精準探測與測量，已成為28納米及以下先進制程中不可或缺的檢測手段。東方晶源此次交付的設備，正是瞄準這一高端市場需求，展現了國產設備在突破關鍵技術壁壘方面的堅實進展。
據悉，本次交付的新客戶為國內一家重要的晶圓制造廠商。交付過程不僅包括設備的運輸與安裝，更涵蓋了嚴格的產品驗證測試（PVT）和客戶現場評估。東方晶源的技術團隊與客戶密切配合，確保設備在客戶產線環境中迅速達到預定技術指標并實現穩定運行。這一成功的交付案例，不僅是一筆訂單的完成，更是客戶對東方晶源產品技術實力、可靠性與本土化服務能力的深度認可。它意味著公司已打通從研發、試產到批量交付的全鏈條，商業模式趨于成熟。
東方晶源開啟批量交付模式具有多重重要意義。對行業而言，這打破了該領域高端設備長期由國際巨頭壟斷的局面，為國內芯片制造企業提供了性能優異、服務響應迅速的國產化選擇，有助于提升產業鏈的自主可控能力和供應鏈安全。對企業自身而言，批量交付意味著產品進入了市場規模化推廣的“快車道”，能夠通過更多的客戶反饋持續迭代優化產品，形成“研發-應用-改進”的良性循環，鞏固市場地位。批量交付帶來的穩定營收也將反哺公司的后續研發，為攻克更多“卡脖子”技術、拓展產品線提供持續動力。
隨著全球半導體產業格局的演變和國內芯片產能的持續擴張，對高端檢測量測設備的需求將日益迫切。東方晶源此次成功開啟批量交付，只是一個新的起點。公司表示，將持續加大研發投入，深化與上下游企業的合作，致力于為全球半導體產業提供更多高性能、高性價比的檢測與量測解決方案，助力中國芯的制造水平不斷提升。國產半導體檢測儀器設備的崛起之路，正因這樣的扎實步伐而愈發清晰可見。
